Разделение пластин

ОАО «Планар-СО» выпускает ряд моделей микроабразивного инструмента для разделения пластин:

Диски абразивные режущие 
ДАР6

Диски абразивные режущие 
ДАР7

Диски абразивные режущие 
ДАР9

Диски абразивные режущие 
ДАР10

УН-1
Устройство для нанесения защиты

УУ-1
Устройство удаления защиты

ЭМ-3067
Установка отмывки полупроводниковых пластин

ЭМ-2058
Установка монтажа полупроводниковых пластин к адгезионному носителю

ЭМ-2165-2
Автомат разделения полупроводниковых пластин

ЭМ-2095
Установка разделения полупроводниковых пластин

ЭМ-2850
Установка ультрафиолетового экспонирования