|
|
Установка присоединения кристаллов ЭМ-4025АМ-3 предназначена для монтажа кристаллов и иных полупроводниковых компонентов методом эвтектической пайки, монтажа на клей и припой при сборке ИС, ГИС, многокристальных приборов, СВЧ-приборов и других изделий электронной техники.
Установка оснащена 8-инструментальной револьверной головкой, нагреваемым рабочим столом с двумя зонами нагрева, пневмодозатором для нанесения клея. Привод вертикального перемещения по координате Z обеспечивает мягкое касание при монтаже кристаллов из материалов соединений типа AIIIBV.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Производительность, кристаллов/час | 2000 |
| Размер присоединяемых кристаллов, мм | 0,4×0,4...10×10 |
| Количество инструментов захвата кристаллов | 8 |
| Воспроизводимость позиционирования координатных столов по координатным Х, Y, мкм | 5 |
| Рабочее поле перемещения координатного стола, мм | 400 х 200 |
| Диапазон регулирования усилия сжатия соединяемых элементов, Н | 0,8 ... 5,0 |
| Диапазон регулирования температуры нагрева рабочих зон нагреваемого рабочего столика (отдельно для каждой зоны), °С | 20 ... 450 |
| Погрешность позиционирования револьверной головки по координате Z в диапазоне перемещения от 0 до 9 мм, мм | ±0,05 |
| Погрешность присоединения кристаллов: | |
| - по координатам X,Y, мм | ±0,055 |
| - по углу φ, ° | ±5 |
| Диаметр пластины, max, мм | 150 |
| Потребляемая мощность, кВт | 0.5 |
| Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм | 790x780x500 |