Разделение пластин - это чрезвычайно важная операция. Полупроводниковые пластины из материалов, используемых в микроэлектронике, разделяются на кристаллы с высочайшей степенью точности.
ОАО «Планар-СО» выпускает ряд моделей микроабразивного инструмента для разделения пластин: